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关于阴极溅射现象特点及作用的探讨

时间:2016-05-03? 来源:青岛丰东热处理 ?编辑:青岛丰东热处理 点击: 次
        离子氮化热处理过程中正离子(N+)轰击阴极表面使阴极的电子和原子(或分子团)脱离阴极表面,这种现象称为阴极溅射。阴极溅射的特点是:
        电压低于某一值(阈值)时不会发生阴极溅射;
        阴极位降越大,阴极溅射越强烈;
        气体压强越小,溅射越大;
        工件温度越高,溅射越大。
        溅射可以除去阴极表面的异物,起到净化和活化工件表面的作用,所以离子法渗速要比气体法渗速快。
        溅射下来的活性粒子易于吸取气体或与气体反应生成化合物,如离子渗氮过程中溅射起来的Fe与N反应生成FexN粒子,起到渗氮载体的作用。
        青岛丰东热处理致力于离子氮化研究与应用,提供离子渗氮、离子氮碳共渗(软氮化)、离子渗氮+后氧化服务,请拨打400-6577-217或联系在线客服。

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