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离子氮化炉炉内气压的测量与控制系统

时间:2017-03-13? 来源:青岛丰东热处理 ?编辑:青岛丰东热处理 点击: 次
对于低真空测量仪表,尤其应用在优德体育w88官网手机版上都不很理想。目前国内外采用的是压缩式真空计、电阻真空计和膜片式真空计。
1.真空测量仪表
1)压缩式转动真空计
采用压缩式转动真空计可以测量炉内非可凝性气体的压强,测得数值的重复性好,也较正确,但不能连续测量。因有水银蒸发,使用时不宜与炉子长期联通,每次测定完毕,应将真空皮管夹紧密封。在没有正确测量仪表的条件下,尤其是工艺试验需要较准确测量压强时
2)电阻真空计
利用热导原理制成的电阻真空计,是一种价格较为便宜的仪表。但在离子渗氮中应用,由于氢气的存在,它的热导率与氮、空气等比较,相差近七倍,故其所测数值误差大,尤其在高压强时指示值能超出量程,但作为炉体极限真空度或起辉前真空度的测试,还可使用。
3)膜片式真空计
日本优德体育w88官网手机版配带膜片式真空计和我国半自动控制型优德体育w88官网手机版配带的膜片式真空计,都是在膜片上装有应变元件组成电桥,规管一端接参考真空室,一端接被测炉体的型式。试用中发现这种真空计和被测气体的成分关系不大,但有零点飘移和膜片的复原时间较长等缺点,且价格较贵。
2.炉压控制系统
离子渗氮炉内的气压是气流动态平衡的结果,炉压控制可以采用固定抽气速率,调整进气流量或无固定进气流量,调整抽气速度两种方法来实现。
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